VIBRO-METER傳感器對(duì)于壓力的測(cè)量采用的是壓力芯片，而壓力芯片在可發(fā)生壓力形變的硅膜片上集成的惠斯通電橋。該產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝，其實(shí)就是MEMS技術(shù)的實(shí)際應(yīng)用，MEMS是建立在微米/納米技術(shù)基礎(chǔ)上的21世紀(jì)前沿技術(shù)，使之對(duì)微米/納米材料進(jìn)行設(shè)計(jì)、加工、制造和控制的技術(shù)。它可將機(jī)械構(gòu)件、光學(xué)系統(tǒng)、驅(qū)動(dòng)部件、電控系統(tǒng)、數(shù)字處理系統(tǒng)集成為一個(gè)整體單元的微型系統(tǒng)。

　　VIBRO-METER傳感器的結(jié)構(gòu)是氧化鋁膜片與中空的絕緣介質(zhì)構(gòu)成一個(gè)內(nèi)部為真空的電容式壓力敏感元件，并連接傳感器混合集成電路。傳感器導(dǎo)入進(jìn)氣管的壓力后，氧化鋁膜片在進(jìn)氣壓力的作用下產(chǎn)生變形，使其電容值發(fā)生改變，經(jīng)混合集成電路處理后，輸出與進(jìn)氣壓力變化相對(duì)應(yīng)的電信號(hào)。

　　VIBRO-METER傳感器利用膜片構(gòu)成一個(gè)電容值可變的壓力敏感元件，膜片受力變形時(shí)，其電容值相應(yīng)改變，由傳感器測(cè)量電路將與壓力相對(duì)應(yīng)的電容變化轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的電信號(hào)，該產(chǎn)品測(cè)量電路主要有頻率檢測(cè)式和電壓檢測(cè)式兩種。

　　1、頻率檢測(cè)式：振蕩電路的振蕩頻率隨壓力敏感元件電容值的大小變化而改變，經(jīng)整流、放大后輸出頻率與壓力相對(duì)應(yīng)的脈沖信號(hào)。

　　2、電壓檢測(cè)式：壓力敏感元件電容值的大小變化，經(jīng)載波與交流放大電路的調(diào)制、檢波電路的解調(diào)后，再經(jīng)濾波電路的濾波，輸出與壓力變化相對(duì)應(yīng)的電壓信號(hào)。

　　以上就是小編今天為大家?guī)淼娜恐R(shí)內(nèi)容了，希望能夠?qū)δ兴鶐椭?/div>